探索RockPlus SECS/GEM平臺 - 賦能半導體行業設備互聯


SECS/GEM協議,全稱為半導體設備通訊標準/通用設備模型(SECS/Generic Equipment Model),是一種廣泛應用于半導體制造行業的通信協議。它定義了半導體設備與工廠主控系統(如MES)之間的通信方式,使得設備能夠自動化地報告狀態、執行命令和交換數據。
合共軟件研發的RockPlus SECS/GEM平臺為半導體、光伏(PV)及電子等高科技行業設備提供SECS/GEM協議的數據轉發服務,使設備能和EAP通訊。它擔任通訊的橋梁,一端通過通訊接口連接設備軟件或硬件,一端通過SECS/GEM協議通訊接口連接EAP系統,實現設備SECS/GEM協議通訊接口的開放。對于常見半導體的設備單晶爐、氣相外延爐、分子束外延系統、氧化爐(VDF)、低壓化學氣相淀積系統(LPCVD)、等離子體增強化學氣相淀積系統(PECVD)、磁控濺射臺(MSA)、化學機械拋光機(CMP)、光刻機、反應離子刻蝕系統(RIE)、ICP等離子體刻蝕系統、濕法刻蝕與清洗機、離子注入機(IBI)晶片減薄機、晶圓劃片機(DS)、引線鍵合機(Wire Bonder)等,SECS/GEM平臺提供了預制的對接指令,直接配置使用,無需編寫代碼,大大節省了對接的時間成本。
RockPlus SECS/GEM平臺專為以下用戶群體設計:
(1) 實施產線自動化或舊設備改造的半導體制造工廠:對于這些工廠而言,SECS/GEM平臺提供了一種簡便的方法來集成和升級其生產線,使之支持SECS/GEM通訊接口。
(2) 需求開放SECS/GEM協議通訊接口的半導體設備供應商:供應商可以利用SECS/GEM平臺快速開發和實現與SECS/GEM協議兼容的通訊接口,從而擴大其產品的市場適應性。
(3) 無SECS/GEM通訊接口的EAP或MES的實施商:對于這些實施商來說,SECS/GEM平臺提供了一種高效的途徑來擴展其系統功能,使其能夠與遵循SECS/GEM協議的設備無縫集成。
RockPlus SECS/GEM平臺具備以下優勢特點:
(1)廣泛的協議支持:平臺支持包括 SEMI E5(SECS-II), E30(GEM), E37(HSMS)在內的多種協議,保證了與各類半導體設備的兼容性。
(2)多接口數據集成:平臺支持OPC DA, OPC UA, Web Service, API和Restful等多種接口,這意味著它能夠輕松對接不同的數據源,并將這些數據有效地集成到制造執行系統或其他企業級應用中。
(3)多設備數據集成轉發:SECS/GEM平臺能夠處理來自多個設備的數據,實現數據的集成轉發。這對于大規模生產環境中設備數據的統一管理和分析尤為重要。
(4)多SECS/GEM連接接口:平臺支持多個SECS/GEM連接接口,使得同時與多個設備或系統的通訊成為可能,增強了生產線的靈活性和擴展性。
RockPlus SECS/GEM平臺為半導體制造業提供了一個高效、靈活且兼容性強的設備互聯解決方案,幫助企業提高生產效率,降低成本,同時保持對市場變化的快速響應能力。